酸性氣體的煙氣處理工藝主要有干法、半干法和濕法三種。
干法凈化工藝——干法是將熟石灰通過專用噴頭噴人反應器內，讓熟石灰微粒表面直接和煙氣中的酸性氣體接觸，產生化學中和反應，反應要有一個合適的溫度，一般為140℃，生成無害的中性鹽粒子，再進人下游的粒狀物去除設備。在除塵器里，反應產物連同煙氣粉塵和未反應的吸收劑一起被捕集下來，達到凈化酸性氣體的目的。干法凈化工藝流程簡單，操作簡便，不產生廢液，但藥劑消耗量大，過量系數一般達到3以上；HCL和SO2去除效率低；目前，國內城市垃圾焚燒廠較少單一采用此法。
濕法凈化工藝——濕法凈化工藝一般采用濕式洗滌塔脫酸，系統由濕式洗滌塔、循環水(液)噴射系統、循環冷卻水(液)系統、NaOH儲存與制備系統等組成。濕法凈化工藝HCL去除效率高，一般在98％左右；SO2去除效率高，一般在90％左右；適應范圍廣、鈣硫比低、技術成熟，在發達國家的垃圾焚燒發電廠中應用廣泛。但投資大、動力消耗大、占地面積大、設備復雜、運行費用和技術要求高，在國內常規火電的應用比例較高，垃圾焚燒行業應用濕法工藝較少。
半干法凈化工藝——半干法煙氣凈化系統是介于濕法和干法之間的一種工藝，半干法脫酸系統是由旋轉噴霧反應塔、石灰漿制備系統組成。半干法濕法凈化工藝脫酸效率較高，HCL去除率一般在97％左右；SO2去除率一般在85％左右；不產生廢液；操作溫度通常在200oC左右，煙氣溫度滿足排放要求；耗水量較濕法少；技術成熟可靠，己在國內大部分城市垃圾焚燒發電廠成功運用。不足之處為管道和噴嘴易堵塞，可通過良好的設計及操作管理等措施克服此問題，噴嘴也需定期更換維護。

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